国内生产刻蚀机水平高的企业为中微半导体设备（上海）有限公司（这家同样是有国资背景的企业，前两大股东也是国有企业，所以有人说我国光刻机没发展起来是因为国企的原因，这是不对的，中微半导体也可以说是国企，但是刻蚀机的技术水平是水平的。国内刻蚀机的发展离不开尹志尧为代表的几十位海归技术。尹志尧曾经担任应用材料的公司副总裁（应用材料是半导体设备厂商老大），参与---几代等离子体刻蚀设备的开发，在美国工作时就持有86项。2004年回来之后，牵头设立了中微半导体公司，尹志尧等人重新投入研发刻蚀机，仅仅用了3年的时间就做出了的刻蚀机，为此美---无法接受，还---了中微半导体---，但是终的验证结果是没有任何的---。（这才是中微半导体比上海微电子发展快的原因，毕竟上海微电子的没有人才在荷兰的asml工作过，也许正是因为这件事，所以美国现在禁止asml招聘的员工）。我国的刻蚀机技术位于，中微半导体的介质刻蚀机赢进入台积电7nm、10nm的生产线，中微半导体的刻蚀机制造工艺达到了5nm，已经通过了台积电的验证
只要---操作过，就会知道蚀刻机在使用的过程中，要注意的问题非常多，虽然现在已经推出了自动化的型号，但是仍然有不能忽视的关键问题，比如很多朋友就想要知道该设备是否可以接触具有腐蚀性的化学物质，接触之后还能不能正常运行，马上进行了解。 1、要选对型号 蚀刻机的型号通常有化学以及电解两种，其中化学型号就能够接触溶液，并且它还是通过化学溶液来起到蚀刻效果的，产生化学反应之后，很快就能完成工作，但是需要定期清洗设备，才能减少污垢残留或是堵塞的问题出现，朋友们需要稍加注意。 2、电解型号污染更少 虽然化学蚀刻机可以完成工作，但是化学溶液对环境的危害还是比较大的，如今很多行业已经不再使用这种型号的设备了，反而会选择电解型号，虽然它存在蚀刻面不够均匀等问题，但是却具备了无污染的优点，更符合现如今的理念。 弄清楚是怎么一回事之后，就会知道合适的蚀刻机型号完全可以接触化学液体了，所以朋友们不必---腐蚀之类的情况，如果人手并不是很多，或是工作比较忙碌，还可以选择自动化的型号，免去了不---的麻烦，也能够加快蚀刻的效率。
1.蚀刻机喷头的详细介绍：
蚀刻机喷头是蚀刻机喷淋装置中重要的一个构件，自喷的样子是依据蚀刻机喷头的类型来决策的，不一样的蚀刻机喷头所具有的功效是不一样的。
2.蚀刻机喷头的功效：
关键功效是把蚀刻液匀称的自喷到产品工件上，蚀刻机喷头依据蚀刻机每道工艺过程所相匹配的规定所挑选不一样的类型。例如：基本状况下蚀刻段挑选用扇型，由于蚀刻段对工作压力的规定较为高，而大家扇型喷嘴自喷出的液体压力会相对性较高;显影液段和退膜段大家就选用锥形喷嘴，由于这多处必须覆盖范围广，而锥形喷嘴恰好就会有这类特点。
3.蚀刻机喷头的维护保养：
蚀刻液是根据蚀刻机喷头顶部的小圆孔把药液给自喷出去，这一小圆孔的直徑是不大的，因此 是非常容易阻塞的，而大家的蚀刻液沉淀和浸蚀出来的沉渣全是颗粒的，应用的時间太长了这种固态细颗粒物的产生便会阻塞喷头，因此 大家必须按时的清除蚀刻机的喷头才可以做到优良的浸蚀实际效果。
蚀刻液中ph值对蚀刻速度的影响：蚀刻液ph值应保持在8~8.8之间，当ph<8时，一方面对金属抗蚀层不利，另一方面，蚀刻液中的铜不能完全络合成铜氨络离子，药液出现沉淀，造成蚀刻困难。如果药液ph值过高，蚀刻液中氨过饱和，游离氨释放到---中，导致对环境的污染，同时药液ph值的过高也会增大侧蚀量，从而影响到蚀刻精度。
