等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术。在典型的干法刻蚀工艺过程中,一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中,在外部能量作用下(如射频、微波等)形成等离子体,干法刻蚀技术由于具有---的各向---和工艺可控性已被广泛应用于微电子产品制造领域,凭借在等离子体控制、反应腔室设计、刻蚀工艺技术、软件技术的积累与---,北方华创微电子在集成电路、半导体照明、微机电系统、---封装、功率半导体等领域可提供---装备及工艺解决方案。形成了对硅、介质、化合物半导体、金属等多种材料的刻蚀能力,其中应用于集成电路领域的硅刻蚀机已突破14nm技术,进入主流芯片代工厂,全自动金属蚀刻机,其余各类产品也凭借其优异的工艺性能成为了客户的。
光刻机和刻蚀机的区别:
刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
蚀刻加工主要是针对金属进行定制加工,也被称为金属腐蚀加工,适用领域范围有电子、精 密五金、通讯、汽车工程、等,那么蚀刻加工具体都有哪些用途呢?
(1)去毛刺。由于不锈钢板在冲制或机械加工后,在端面或棱角处存在毛刺,不仅影响产品的外观,腐蚀标牌蚀刻机,也影响机器的使用效果,如果采用机械抛光或手工去毛刺,不仅工效低,也不能满足设计的圆角倒角要求,采用特殊的化学抛光或电化学抛光溶液,对毛刺进行腐蚀加工,而又不损害表面光洁度,数码扫描电解蚀刻机,甚至可以提高表面光洁度。这是表面处理与机械加工的结合。
(2)除去多余尺寸。如某不锈簧钢丝,其线径要求φ0.8~0.84,而实际线径是和0.9,如何使制成品均匀变为φ0.8~0.84,如何有效地去除机加工过程中的毛刺和热处理过程中产生的氧化膜?如要采用机械抛磨和钳修的方法除去毛刺、氧化皮和钢丝直径圆周上均匀地除去0.06~0.1mm.不仅加工工艺性差,效率低,加工也难以---。利用化学抛光的特殊溶液,江苏蚀刻机,可以同时达到除去毛刺,氧化皮,均匀除去多余的线径尺寸的目的。又如对某些片状不锈钢零件,尺寸大些,也可以利用电化学抛光的特殊溶液适当减薄厚度尺寸,达到产品尺寸要求。
(3)铣切加工。将不锈钢材料需要加工的部位暴露于化学铣切液中进行铣切加工,从而获得一定形状或尺寸的零件,达到具有立体感、装饰性的目的。利用丝网漏印,可对不锈钢表面化学铣切出文字、花纹、图样,达到一定的---,再填充上一定的不同的色彩,如奖牌、标牌、铭牌等。
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