zui近光刻机和蚀刻机一直都是当前zui热的话题,可以说光刻机是芯片制造的魂,全自动电解抛光蚀刻机,蚀刻机是芯片制造的魄,要想制造的芯片,这两个东西都必须。 这俩机器zui简单的解释就是光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉,这样看起来似乎没什么难的,但是有一个形象的比喻,每一块芯片上面的电路结构放大无---来看比整个北京都复杂,这就是这光刻和蚀刻的难度。 光刻的过程就是现在制作好的硅圆表面涂上一层光刻胶(一种可以被光腐蚀的胶状物质),接下来通过光线(工艺难度紫外光<深紫外光<极紫外光)透过掩膜照射到硅圆表面(类似投影),因为光刻胶的覆盖,照射到的部分被腐蚀掉,没有光照的部分被留下来,这部分便是需要的电路结构。 蚀刻分为两种,一种是干刻,一种是湿刻(目前主流),顾名思义,湿刻就是过程中有水加入,将上面经过光刻的晶圆与特定的化学溶液反应,去掉不需要的部分,剩下的便是电路结构了,传输式蚀刻机,干刻目前还没有实现商业量产,其原理是通过等离子体代替化学溶液,去除不需要的硅圆部分。
要计算合适的腐蚀区了解蚀刻机分为几个部分:一个蚀刻机分为四个部分:饲料部分***腐蚀区***清洗***放电区,甘肃蚀刻机,蚀刻机进料部分、清洁区、过水断面是固定的,价格是由腐蚀的长度决定。腐蚀区域的长度由腐蚀时间、腐蚀输出量和工件尺寸决定。。 腐算公式如下: 腐蚀区=1+﹛总产量×(板长+板距50mm)÷{机宽÷(板宽+板距50mm)}÷工时÷60×蚀刻时间﹜÷0.8。注:此公式进料宽度÷工件宽度只取整数,小数点后面去掉;后所得数取整数后加一,小数点去掉;为得出的结果与实际生产更为接近,需按照此公式结果再除以0.8,因为实际生产时认为周转会有时间损耗。 根据上述公式我们举例检验一下,比如某蚀刻加工厂想找一家蚀刻机厂家购买一台合适自己的蚀刻机,而不知道蚀刻机价格多少,只知道自己每天有200*300mm大小不锈钢板需要腐蚀镂空,产量为8小时需要生产500件,移印钢片蚀刻机,不锈钢板的厚度为0.3mm,想买一台节省成本的蚀刻机。 不锈钢板的尺寸为200*300mm,所以我们购买常规700mm进料宽度的蚀刻机为合适,根据我厂掌握不锈钢生产时腐蚀速率0.3mm镂空的腐蚀时间为15分钟,新更快。
目前市场主流常规水平式蚀刻机,在板子双面同时喷淋蚀刻过程中,显然下表面蚀刻速度与蚀刻均匀性要比上表面好,上表面的板四周蚀刻速度快于中间部位。这主要由于通常的喷淋蚀刻过程中板子上表面会形成蚀刻液的“水池”,---影响蚀刻均匀性与引起侧蚀。
真空蚀刻机的一组模块结构,内设有加装智能吸水系统套件,吸取板面走蚀刻液,不使蚀刻液滞留在板面。真空吸液盘固定在桥板上离基板调为的距离位置。 如0.2mm厚以下的板子精度达到+-0.01mm,相比常规蚀刻机高出一倍,产能相比常规蚀刻机高出三分之一,同样也提---。使用该真空技术给企业---精工制造也带来---的---竞争力!
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