腐蚀是将金属工件使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。
腐蚀技术可以分为『湿腐蚀』(wet etching)及『干腐蚀』(dry etching)两类。
通常所指腐蚀也称光化学腐蚀(photochemical etching),白城腐蚀机机械设备,指通过贴不干胶;---制版、显---或丝印网版形成图像转移,将需腐蚀区域的保护油墨去除露出需要腐蚀的地方,在腐蚀时金属接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
早可用来制造铜版、锌版、不锈钢等印刷凹凸版,数码腐蚀机机械设备,也广泛地被使用于减轻重量(weight reduction)仪器镶板,广告牌标牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工;经过不断的技术改良和工艺设备发展,也可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密腐蚀产品的加工,---在半导体制程上,腐蚀更是不可或缺的技术。
比如不锈钢过滤网片,圆孔均为采用镂空腐蚀工艺成型。
工艺流程:清洁工件去油污(不锈钢或其他金属工件)--- 涂布---烤干--------- 显影--蚀刻—退膜
不锈钢蚀刻的分类
按蚀刻过程的分,主要有化学蚀刻和电化学蚀刻。化学蚀刻是不锈钢和环境介质直接发生化学作用而产生的损坏,在蚀刻过程中没有电生。例如不锈钢在高温的空气中或中的蚀刻,非电解质对不锈钢的蚀刻机等。弓}起不锈钢化学蚀刻的介质不能导电。电化学蚀刻是不锈钢在电解质溶液中发生电化学作用而引起的损坏,在蚀刻过程中有电生。引起电化学蚀刻的介质都能导电。例如,不锈钢在酸、碱、盐、土壤、海水等介质中的蚀刻。电化学蚀刻与化学蚀刻的主要区别在千它可以分解为两个相互独立而又同时进行的阴极过程和阳极过程,而化学蚀刻没有这个特点。电化学蚀刻比化学蚀刻更为常见和普遍。
刻蚀机目前国际上主要的供应商为应用材料、lamresearch等。方面技术有慢慢追上的趋势,即将登录---的中微半导体,其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电(2330-tw)验证,将用于首条5nm制程生产线。而北方华创则是在14nm技术有所突破。市场预估今明两年刻蚀机需求分别达15亿美元与20亿美元。 抛光:可以使晶圆表面达到性的平坦化,铝板腐蚀机机械设备,以利后续薄膜沉积工序。美国应用材料、rtec等均为国际上主要供应商,钛金腐蚀机机械设备,则有中电科装备、盛美半导体等。但陆厂的产品才刚打入8寸晶圆厂中,12寸的相关设备还在研发,明显与国际大厂有实力上的差距。市场预计今明两年抛光机需求将达3.77亿美元与5.11亿美元。
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