刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
扩展资料:
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的x轴,y轴和thita角度来完成对准,山东铜板激光腐蚀机,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据ccd的进行定位调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载,---时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
五金蚀刻设备厂家带您回望蚀刻机器设备的发展趋势,开始仅是一个蚀刻液槽或缸,储放了蚀刻液,聚酰膜挂浸在里面溶液中除去未维护的铜;后又使蚀刻液搅拌或木板晃动,略微提升蚀刻速率。自此,在蚀刻液槽正中间有一根喷嘴,木板垂直放于酸洗槽周边,喷嘴转动的向心力把溶液溅出于表面上完成蚀刻铜。因为木板固定不动置放于槽体,人力放板与取板低,且劳动效率大。这类标准下生产加工的木板线框总宽/间隔在0.5毫米之上。
之后选用水准传送木板,泵运输溶液至喷嘴自喷溶液,前期都还没采用喷头,仅选用塑料软管上切小圆孔或间隙自喷出的溶液,工作压力较小。之后进一步发展趋势成选用喷头与晃动构造。
水准传送承载能力木板的媒介曾是选用塑胶编织带,由蚀刻机两边辊轮旋转推动胶网的挪动,木板放到在网上后没动的。这类输送带传送的益处,合适各种各样规格(长、宽与板厚)木板及柔性板的蚀刻,其缺陷是只有单层蚀刻,双面板要经翻板钩二次蚀刻。为能两面与此同时蚀刻,改成滚轴传送,那样木板伴随着滚轴前行,左右都是有间隙可自喷溶液于表面。运载滚轴的工作辊旋转,有靠传动链条推动或传动齿轮推动,相对来说传动齿轮稳定---。由于传送滚轴中间有空隙,会使小规格板及绵软的板不可以传送,这就需要考虑到滚轴的相对密度,或额外“过河”,促使小规格板与柔性板也可以传送,现有机器设备称能传送超薄25μm的片状。
曾有五金蚀刻设备厂家的竖直式传送蚀刻机,铜板激光腐蚀机技术,木板竖直挂吊于工装夹具上进到蚀刻机内,在蚀刻室两边溶液自喷表面。因为蚀刻机器设备繁杂和沒有反映的蚀刻实际效果,因而没被发展趋势。如今流行是水准传送自喷式蚀刻机。
在碱性真空蚀刻机中,溶液cu2+浓度、ph值、nh4cl浓度、nh3-h2o浓度以及温度都会影响到蚀刻效率。掌握这些因素的影响才能有效的控制溶液,使之保持恒定的佳蚀刻状态,铜板激光腐蚀机金属上刻字,从而得到满意的蚀刻。通过我们多年的实践经验,得出以下结论,仅供参考:
cu2+浓度对蚀刻速度的影响:在这种蚀刻液中,cu2+是氧化剂,铜板激光腐蚀机深腐刻图文字,所以cu2+的浓度对蚀刻机的蚀刻速度的影响占有重要因素。实际经验告诉我们,cu2+浓度在0g/l~82.5g/l时,蚀刻速度很慢;在82.5g/l~135g/l时蚀刻速度较低,且控制困难;在135g/l~165g/l时,蚀刻速度高且溶液稳定;在165g/l~225g/l时,溶液不稳定,趋向于产生沉淀。
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